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產(chǎn)品中心 推動(dòng)智能制造產(chǎn)業(yè)升級(jí)，做世界一流的智能裝備

VP-10S全自動(dòng)真空等離子清洗機(jī)（有待料區(qū)）

產(chǎn)品特點(diǎn):

設(shè)備系統(tǒng)支持多個(gè)版本(PLC/PC)，支持主流多種通訊協(xié)議； 

設(shè)備依SEMI安全生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)生產(chǎn)； 

通道設(shè)計(jì)產(chǎn)能高，UPH400~550pcs； 

適用多種產(chǎn)品尺寸及彈夾；

MFC晶圓級(jí)專(zhuān)利設(shè)計(jì)，防止氣體泄漏引發(fā)安全事故(可使用氫氣等高危氣體）； 

腔體高密封專(zhuān)利設(shè)計(jì)最高可達(dá) 5pa以?xún)?nèi)； 

水滴角<10°(與清潔表面材質(zhì)相關(guān))； 

四通道設(shè)計(jì)，同時(shí)處理4個(gè)產(chǎn)品，配置雙下電極，節(jié)省進(jìn)出板時(shí)間，效率大幅提升，保證處理產(chǎn)品均性。

技術(shù)規(guī)格:
功能配置技術(shù)參數(shù)
設(shè)備尺寸長(zhǎng)X寬X高(mm)L1600 xW1150 XH1700
凈重(kg)1000 
設(shè)備周邊間隙(mm)后面600,兩邊600
腔體容積(L)約9
通道(條)4 
下電極(塊)2(待料功能)
上料方式彈夾
適應(yīng)產(chǎn)品尺寸(mm)寬度：40-100長(zhǎng)度：150-300
電極電極尺寸(mm)528×300
射頻電源標(biāo)準(zhǔn)功率(kW)1 
頻率(MHz)13.56 
氣體控制最多支持三路標(biāo)配2路，可選配3路
控制系統(tǒng)人機(jī)界面PC+觸摸顯示屏
遠(yuǎn)程接口通訊選配
真空泵可選干泵17CFM
可選油泵195CFM
可選帶吹掃功能干泵YES
氮?dú)獯祾吡髁?SLM)2 
抽真空時(shí)間(S)10-15
破真空時(shí)間(S)3-4
廠務(wù)設(shè)施電源三相380V50/60Hz 4.5kW(油泵)/三相380V50/60Hz 4kW(干泵)
工藝氣體管路尺寸&類(lèi)型1/4inch Swagelok
工藝氣體純度工業(yè)級(jí)及以上
工藝氣體壓力(psig)10-20
吹掃氣體管路尺寸&類(lèi)型1/4inch Swagelok
吹掃氣體純度工業(yè)級(jí)及以上
吹掃氣體壓力(psig)15 
氣動(dòng)閥門(mén)管路尺寸&類(lèi)型10mm push-in fitting
氣動(dòng)氣體純度壓縮空氣，無(wú)油，露點(diǎn)≤7℃,顆粒<5
氣動(dòng)氣體壓力(psig)70-90
壓縮空氣排氣管路(mm)中8
合規(guī)認(rèn)證SEMI
輔助設(shè)備氮?dú)獍l(fā)生器(可選)有氮?dú)獯祾吖δ苄枨髸r(shí)選配
水冷機(jī)(可選)配置冷卻功能電極時(shí)選配
氫氣工具包(可選)使用氫氣進(jìn)行處理時(shí)選配
尾氣處理機(jī)(可選)含氟氣體處理時(shí)的尾氣處理選配
運(yùn)輸總重量(kg)1050 
包裝件數(shù)1 
包裝符合SPM15標(biāo)準(zhǔn)YES
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